TSMC STI 神马？？

lmgrd · 发表于 2013-6-22 09:55:49

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本帖最后由 lmgrd 于 2013-6-23 09:32 编辑

各位：在TSMC 025中，画Dummy PAD时，文档要求STI（Shallow Trench Isolation）, 但本人不知这个STI是否是一个单独的Layer？
或怎么标识为Mask Layer? 这方面经验不足，请知道的童鞋指点，讨论。谢~

zkjacob · 发表于 2013-7-2 11:43:36

STI,即浅槽隔离，是MOS管之间隔离用的。一般不需要定义这层layer，design rule里的DIFFUSION之间的间距就指的是STI。我们用的TSMC与UMC的rule都没有这一层layer。

zmart · 发表于 2013-7-9 22:29:29

STI 只是工艺中的述语，画版图用不到，其实可以不管它的.当然知道是干什么的也是有好处的。

xiaox · 发表于 2013-7-29 16:30:38

OD 之外的地方都是这东西

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