0.18工艺中M1_SP与M1_SUB有什么区别？

竹子心 · 发表于 2013-1-29 18:24:53

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在用Assura进行版图验证中LVS报错，但我用的是XL画的版图都没有问题，在做衬底接触时发现有两个一样的衬底确实不同的名称，请问它们到底有什么区别？LVS产生的报错是否跟衬底接触有关？

dtww · 发表于 2013-1-29 18:38:13

回复 1# 竹子心

建议用M-sp，没有本质的区别的，很多不同的名称是由于FAB在建PDK的时候没有处理的原因，本质是一样的。。。

lodestar6666 · 发表于 2013-1-29 18:43:03

SP应该是P型重掺杂，
SUB是衬底，轻掺杂，
一般需要用SP做衬底接触

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