关于SMIC13下一些层的意义

uestc_xu · 发表于 2013-1-22 22:31:44

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本帖最后由 uestc_xu 于 2013-1-22 22:33 编辑

在SMIC13工艺中DG,CT层是什么意思，在半导体制造工艺中，这些层又是怎么起作用的。

Hyacinth1292 · 发表于 2013-1-23 08:10:15

汗，，这些东西还是看文件吧。

weiyang3 · 发表于 2013-1-23 14:53:22

需要看opus.map或者tf文档

icfbicfb · 发表于 2013-1-23 21:38:25

dg : dual gate , 就是高压的od层，比如1.8/2.5v 的od区域，gate区域，
ct： contact啊，到处都是的，

uestc_xu · 发表于 2013-1-24 10:07:08

回复 4# icfbicfb

od是什么意思啊。1.8V,2.5V就算高压了？？记得毕设做的IGBT有2500V也没有这个东西啊。。dual gate是指有双层gate吧。那在制造工艺中他是哪一步呢？怎么实现的，有什么作用。能大致讲下原理吗？或者告诉下什么地方能查阅。

weiyang3 · 发表于 2013-1-24 11:02:10

OD是T的叫法，oxide diffusion，SMIC中好像叫AA（active area）？按照斑竹的解释DG，是Gate为了适应更高的VT，是栅氧更厚的那层，做两层栅氧？

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