关于slot wafer corner的认识？

lovechip · 发表于 2012-12-29 13:12:18

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据我了解的slot wafer corner之间有两种不同的认识：

一种是：不同slot是不同corner，而一个wafer上只有一个corner

另一种是：一段时间的slot集中到同一个corner，而一片wafer上有多种corner

请有经验的达人分享经验.......

selfsalvation04 · 发表于 2012-12-29 18:16:18

这个还不了解，继续关注长见识

ccp106 · 发表于 2012-12-30 13:31:40

我觉得吧，应该是第一种

iamshan · 发表于 2012-12-30 23:52:58

不同slot是不同corner，而一个wafer上只有一个corner 这一般是designer要跑的corner lot；另外一种是FEM, 这种可以在wafer上不同的区域调节CD，但是没有办法做不同的implant，一般是fab用来检验CD对某些东西的影响的。

datouyu451 · 发表于 2022-8-31 10:55:37

请教楼主，corner wafer能出货吗

dmf336 · 发表于 2024-4-19 09:40:01

datouyu451 发表于 2022-8-31 10:55
请教楼主，corner wafer能出货吗

这个要看具体的验证和测试数据，不能一概而论，如果跑的偏差太大，肯定不能出货，一般来说ss是可以出的

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