如何画seal ring?

yun11 · 发表于 2016-7-8 17:02:17

学习学习

龟果怪 · 发表于 2020-3-4 17:04:07

实线虚线怎么看还是不懂

aibbt · 发表于 2020-3-5 07:27:39

NTAP is clear

小哈哈魔头 · 发表于 2021-11-11 12:01:11

我猜应该是看assembly isolation 那一段。seal-ring与芯片core之间要有一段 assembly distance，这一段应该是没有其他层的，然后其他layer的dark 和 clear 关系只要和这一层的assembly distance对比就知道了

fattigerXu · 发表于 2023-11-20 09:39:57

龟果怪发表于 2020-3-4 17:04
实线虚线怎么看还是不懂

我理解的就是，首先看着出来这是一层一层的图，P+开始就看得出来seal ring是P型环，然后在P+上一层就是CO接触孔，有虚有实，明显就是要那三个0.5的实线部分来做掩膜，再往上一层就是M1，M1肯定要在CO上方，所以右侧长度为2的实线如果是掩膜用来刻蚀M1，那压根没和CO接上，所以M1是用虚线部分的，VIA1是M1到M2的连接孔，一般比CO孔大那么一丁点，为0.6,M2要和下面的M1接在一起，就要处于有VIA1的上方，右侧3.5的实线也明显不在VIA1上方，所以是虚线。如有错请指正呀

世一归 · 发表于 2023-11-21 09:29:23

fattigerXu 发表于 2023-11-20 09:39
我理解的就是，首先看着出来这是一层一层的图，P+开始就看得出来seal ring是P型环，然后在P+上一层就是CO ...

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