ITRS 2011 PIDS & Lithography

Zhangzx · 发表于 2012-12-15 20:57:28

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ITRS : International Technology Roadmap for Semiconductors
国际半导体技术蓝图

最新2011 Edition，我选择了其中最有意义的两个Chapter与大家分享，PIDS和Lithography，需要的可以下载。

PIDS：Process Integration, Devices and Structures

2011PIDS.pdf (1014.32 KB, 下载次数: 53 )

Lithography

2011Lithography.pdf (1023.29 KB, 下载次数: 44 )