ITRS 2011 PIDS & Lithography

Zhangzx · 发表于 2012-12-15 20:57:28

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ITRS : International Technology Roadmap for Semiconductors
国际半导体技术蓝图

最新2011 Edition，我选择了其中最有意义的两个Chapter与大家分享，PIDS和Lithography，需要的可以下载。

PIDS：Process Integration, Devices and Structures

2011PIDS.pdf (1014.32 KB, 下载次数: 53 )

Lithography

2011Lithography.pdf (1023.29 KB, 下载次数: 44 )

frank15963 · 发表于 2014-12-28 13:52:03

感谢分享

widespace_ · 发表于 2015-1-2 23:31:44

好东西，谢谢，学习

pacificsand · 发表于 2016-3-10 20:10:39

哈哈，感谢分享pie的资料，正在找呀

小诸葛1989 · 发表于 2017-2-18 23:25:34

THANK YOOOOOOOOOOOOOOOOOOOOOOOOOOOOOOOOOOOOOOU!

simufox · 发表于 2017-11-23 15:05:15

Xie Xie

s98006368 · 发表于 2020-9-22 23:44:12

一个包搞定。

[资料] ITRS 2011 PIDS & Lithography

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