Design Rule中的Digitized area C(lear) 和D(ark)的含义理解问题

729050850 · 发表于 2012-12-13 14:57:58

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vakite · 发表于 2012-12-14 16:42:26

指的是版，用黑版还是白版

729050850 · 发表于 2012-12-14 18:52:41

有的解释说亮场和暗场，主要是不太明白它俩的区别，比如说加工一个contact，两者的区别是什么？

qoo1625 · 发表于 2014-10-25 01:29:16

簡單的說就是在製造時遮住還是不遮

papertiger · 发表于 2014-10-25 10:36:24

是指mask 是透光还是不透光。

所以有些mask 是 clear ，有些遮挡的是dark

jerry66666 · 发表于 2014-11-1 00:57:53

单纯就contact而言，由于contact需要刻蚀形成，在用contact这层的数据去制作mask的时候就会把contact区域做成透光的。因此一般我们会说这层mask是clear的。

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