sealring与内部电路之间为什么规定有10um的距离？

ic魅影 · 发表于 2012-7-28 17:47:51

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hi
sealring与内部电路之间为什么规定有10um的距离？谢谢。

terry8876 · 发表于 2012-7-28 18:45:17

sealring上有划封线，这个是用来分裂芯片的，为避免造成对内部电路的破坏，所以sealring到内部电路有10um距离要求。

ic魅影 · 发表于 2012-7-28 18:51:45

回复 2# terry8876

seal ring和scribe line不一样啊。划片是在scribe line上进行的，而且scribe line也有宽度要求。

我还是不太理解，sealring与内部电路之间为什么规定有10um的距离，难道不可以省掉吗？

allen_tang · 发表于 2012-7-29 00:22:20

在scribe line上切割时，可能有应力作用到chip内部，加seal ring可以阻止切割时产生的裂痕损坏到晶片。

ic魅影 · 发表于 2012-7-29 00:40:50

回复 4# allen_tang

我理解 “加seal ring可以阻止切割时产生的裂痕损坏到晶片”，但是seal ring到内部电路必须要10um间距吗？少一些是否可以？

allen_tang · 发表于 2012-7-29 13:47:45

回复 5# ic魅影

我们好像只用3um，跟fab谈谈缩小的安全性。

zhuyujun · 发表于 2012-7-30 14:13:02

和FAB好好谈谈

dinggo · 发表于 2012-7-30 17:32:32

这个是可以问工艺厂的，他给你的实际上是趋于保守的rule.

korli319 · 发表于 2012-7-30 22:48:40

我想也跟ESD的防护也有一定的关系吧

liufuhai1985 · 发表于 2018-4-19 14:49:53

1. ESD的防护。
2. 切割的时间产生很高的温度，防止有源区受高温破坏。
3. 应力以及水汽侵袭的防护带。

[求助] sealring与内部电路之间为什么规定有10um的距离？