OPC block layer?

hmsheng · 发表于 2012-6-15 15:46:24

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SMIC工艺tapeout前要加OPC block layer，请问这个是什么层？干什么用的？

allen_tang · 发表于 2012-6-16 17:45:51

opc是光学近似修正, 一般180nm以下会对光刻图案做修正，使光刻机得到最大的曝光window，目的是使曝光刻蚀后的图案尽量与你layout设计中的一致。
opc block layer应该就是这个区域不需要做opc，比如ram/rom，从foundry拿来的bit-cell已经做过opc.

half_honey · 发表于 2012-6-18 08:53:56

学到了~~多谢

hmsheng · 发表于 2012-6-18 18:43:52

回复 2# allen_tang

学到了~~多谢

maucan · 发表于 2012-6-20 13:58:41

thx.

wenjian07 · 发表于 2013-5-9 08:41:11

原来是这样，学习了

zhuyujun · 发表于 2013-5-9 08:59:11

回复 2# allen_tang

懂得蛮多的！

菜得想哭 · 发表于 2013-9-26 16:06:10

多谢2楼，解决了我的一个疑惑

巍峨山 · 发表于 2013-9-26 18:37:17

学习中

hitmic · 发表于 2013-12-27 08:46:00

回复 2# allen_tang

allen_tang，您好！请问ESD mos上有没有必要做OPC？我看到GSMC .18工艺上有IO加了这一层

[求助] OPC block layer?