[求助] 问个40库顶层金属工艺选择的问题

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eagle723

发表于 2012-5-31 22:40:57 | 显示全部楼层 |阅读模式

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最近在整理Global Fundary 40LP 的工艺库，有6到8层的金属，
对顶层金属有2x厚度，6x厚度，
其中加厚的金属有做在LOW-K电解质中，有做在TEOS/FTEOS电解质中，
关于这个搜了下是不是low-k电解质可以减少层间电容,从而减少串扰？TEOS/FTEOS 是 ultra low-k?

请问：1 顶层金属加厚都有什么好处(电阻更低/电流密度更大？)
2 假设选择8金属的话，顶层怎么选择？2个6x？还是1个2x，1个6x？选择哪种电介质？

电解质, 金属

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