微机电系统MEMS仿真与建模---期刊文章，2011年9月

wangjade · 发表于 2012-3-22 22:06:55

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本帖最后由 wangjade 于 2012-3-23 10:10 编辑

期刊名称：西安航空技术高等专科学校学报

恭喜MEMS版成立！
发一份资料，是关于MEMS建模与仿真的介绍。

摘要：微机电系统是源于微电子加工技术，融合了微机械制造、传感、致动及微控制于一体的系统。微机电系统
融合了力、电、流体、光、磁、热等多个物理域，随着建模与仿真技术的迅速发展，研究有关微机电系统建模与仿真的
基本理论和方法。

微机电系统MEMS仿真与建模.pdf (208.05 KB , 下载次数: 219 )

luoqiaode00 · 发表于 2012-4-10 19:16:29

文章一般。。

wangjade · 发表于 2012-4-11 21:15:18

多谢关注！

还没有正式进入此行，从网上找到的一份中文资料，仅作参考之用。

还请高手多多指教！

soodo · 发表于 2012-9-1 22:58:43

这个似乎作用不大，但是还是感谢

aztdckslh · 发表于 2013-2-18 10:30:24

学习一下还是可以的
谢谢分享

fashion612 · 发表于 2013-5-20 10:39:17

值得看一下

howardYANG · 发表于 2013-7-24 23:45:20

thanks for sharing wih us~~~

oexb25 · 发表于 2013-8-20 16:56:13

pqzhu88 · 发表于 2013-10-9 04:46:51

學習了!!好资料，多谢楼主了

pqzhu88 · 发表于 2013-10-10 04:28:43

学习学习，长长见识

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[资料] 微机电系统MEMS仿真与建模---期刊文章，2011年9月

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