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[资料] 微机电系统MEMS仿真与建模---期刊文章,2011年9月

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发表于 2012-3-22 22:06:55 | 显示全部楼层 |阅读模式

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本帖最后由 wangjade 于 2012-3-23 10:10 编辑

期刊名称:西安航空技术高等专科学校学报

恭喜MEMS版成立!
发一份资料,是关于MEMS建模与仿真的介绍。

摘要:微机电系统是源于微电子加工技术,融合了微机械制造、传感、致动及微控制于一体的系统。微机电系统
融合了力、电、流体、光、磁、热等多个物理域,随着建模与仿真技术的迅速发展,研究有关微机电系统建模与仿真的
基本理论和方法。


微机电系统MEMS仿真与建模.pdf (208.05 KB, 下载次数: 215 )
发表于 2012-4-10 19:16:29 | 显示全部楼层
文章一般。。
 楼主| 发表于 2012-4-11 21:15:18 | 显示全部楼层
多谢关注!

还没有正式进入此行,从网上找到的一份中文资料,仅作参考之用。

还请高手多多指教!
发表于 2012-9-1 22:58:43 | 显示全部楼层
这个似乎作用不大,但是还是感谢
发表于 2013-2-18 10:30:24 | 显示全部楼层
学习一下还是可以的
谢谢分享
发表于 2013-5-20 10:39:17 | 显示全部楼层
值得看一下
发表于 2013-7-24 23:45:20 | 显示全部楼层
thanks for sharing wih us~~~
发表于 2013-8-20 16:56:13 | 显示全部楼层
发表于 2013-10-9 04:46:51 | 显示全部楼层
學習了!!好资料,多谢楼主了
发表于 2013-10-10 04:28:43 | 显示全部楼层
学习学习,长长见识
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