光刻版数据处理中的工艺涨缩问题

hocquan · 发表于 2011-11-25 10:44:39

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本帖最后由 hocquan 于 2011-11-28 20:39 编辑

介绍了集成电路行业中在光刻版数据处理时的工艺涨缩问题，分别讨论了正涨缩和负涨缩问
题，涨缩与反转处理的次序问题，尤其对位于版图边沿图形的涨缩进行了详细的讨论，并且提出了一种电
子设计自动化软件的解决方案和实际结果。

hocquan · 发表于 2011-11-28 20:41:43

回复 2# waveguides

不好意思，第一次附件是一系列的代码，首次上传资料，不太懂上传规则

jake_don · 发表于 2011-11-28 21:25:32

谢谢分享

lxy2730 · 发表于 2014-1-21 00:22:48

PSMC公司的中文名是什么

[资料] 光刻版数据处理中的工艺涨缩问题