请教关于wafer级电容监控问题

stone1005 · 发表于 2011-11-8 10:36:04

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如题，如果电路参数对电容值比较敏感，希望通过参数控制或者测试淘汰掉电容值误差过大的芯片，比如误差控制在正负10%，误差绝对值大约100fF，请问有没有哪位高手有相关经验？如何实现低成本的测量方案？或者如何实现对电容值的监控？先谢谢了！

jamesccp · 发表于 2011-11-8 15:03:19

无这方面经验，帮顶。

Chilton · 发表于 2011-11-8 16:03:04

Are you interested in absolute capacitance value or you are more interested in the ratio of the capacitors?

stone1005 · 发表于 2011-11-8 16:09:28

主要还是电容的绝对值。工艺电容变化范围是正负15%，我想留下正负10%以内的。一般来说应该能留下大部分。

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