请教为啥金属越宽，间距越大？

allen_tang · 发表于 2011-11-14 00:13:50

回复 9# dqyang

宽metal一般会流大电流，尤其是ESD电流，一般会有比较大的杂讯，根据skin effect，电流实际会在金属表层流动，因此metal边缘最好不要打上contact，以免电流聚集在金属表面造成烧毁contact.

dabing · 发表于 2011-11-14 21:40:35

回复 1# guji162

热胀冷缩看看书上，都有说明的哈

489315174 · 发表于 2011-11-16 21:34:13

刻蚀不足，易short

tianruo · 发表于 2011-11-22 11:16:06

回复 11# allen_tang

学习了。多看书有好处，多逛eetop也有好处啊呵呵。

huizai1126 · 发表于 2011-11-22 11:48:03

不错！~顶起。。。

王者归来归王者 · 发表于 2011-11-22 16:40:19

距离太小刻蚀不干净这是工艺方面的问题跟刻蚀速率有关具体我也说不太清楚

jingest · 发表于 2011-11-26 11:20:12

形象一点举个例子吧
比如你有根100um的metal，要求间距是0.5um，刻蚀的时候误差1%就是100x1%=1um，直接短路了。
平时你走个10um的线，误差了1%的话就是0.1um，还在可控范围之内。
大概就是这么个意思

以上数据纯属虚构...实际应该没这么夸张

skchen_001 · 发表于 2011-12-7 16:02:12

我建议你先看看DRC文件，把规则搞清楚。

qijiaji · 发表于 2011-12-10 09:57:31

哪位高人具体讲解下

04072081 · 发表于 2011-12-10 19:28:53

形象一点举个例子吧
比如你有根100um的metal，要求间距是0.5um，刻蚀的时候误差1%就是100x1%=1um，直接短路 ...
jingest 发表于 2011-11-26 11:20

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顶，易理解

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