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[求助] 版图怎么实现大电容

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发表于 2011-10-23 16:47:47 | 显示全部楼层 |阅读模式

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在版图中想实现一个大电容 什么工艺能力求面积最小呢 工艺步骤暂且不用考虑 谢谢!
发表于 2011-10-24 09:56:48 | 显示全部楼层
用mos管做电容?面积小点,精度差
发表于 2011-10-24 10:53:09 | 显示全部楼层
MOS电容最大!
 楼主| 发表于 2011-10-24 16:45:50 | 显示全部楼层
回复 3# semico_ljj


    嗯 但是MOS电容的误差值太大了 我指望着能不能用那种堆叠结构 就是接个电容串起来的方式
哎 没有实际的经验 只能理论上空想了
发表于 2011-10-24 17:59:45 | 显示全部楼层



MOS电容可以的,精度不比你MIM/MOM cap差
就是随电压温度变化,不过强反型变化就不大了
gate oxide是工艺控制最严格的了
发表于 2011-10-24 19:18:13 | 显示全部楼层
回复 4# ducky5757


    如果你们自己有工艺设备的话,自己做应该还是有可能的。去代工厂的话,一般做不了吧。
发表于 2011-11-2 17:09:41 | 显示全部楼层
moscap
发表于 2011-11-3 07:57:28 | 显示全部楼层
建议MOS cap。一般误差在20%以内。注意在阈值附近电容会急剧下降,别的还不错。一般工艺下MOS电容和PIP以及MOM精度差不多的。
发表于 2011-11-3 15:48:51 | 显示全部楼层
建议varator还不错,有的工艺能达到5%的偏差
发表于 2011-11-15 17:20:11 | 显示全部楼层
MOS电容上再做一个PIP电容共用gate,能省很多面积啊。
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