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EETOP 创芯网论坛 (原名：电子顶级开发网)»论坛 › IC 设计及制造（半导体、微电子） › Analog Layout（版图） › Layout讨论区 › 关于鸟嘴效应的问题
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查看: 12063|回复: 10

[求助] 关于鸟嘴效应的问题

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cdlj85
发表于 2011-9-22 20:32:32 | 显示全部楼层 |阅读模式

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哪位帮忙解释一下什么是鸟嘴效应？
问题

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yueluofenghen
发表于 2011-9-23 16:13:13 | 显示全部楼层
百度知道
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icfbicfb
发表于 2011-9-24 15:31:38 | 显示全部楼层
birds beak， 就是管子和管子直接隔离的方法吧，

.18um以前都是用LOCOS ，  local oxide cmos xxx不记得了，

这种方法引起的birds beak效应，有些坏处， 具体不记得了，要看半导体工艺的书

然后现在都是STI（ shallow trench isolation）了， 就避免了这个鸟嘴效应
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terry8876
发表于 2011-9-26 11:57:35 | 显示全部楼层
这个不管是工艺流程还是版图相关书籍上都有介绍吧,楼主自己勤快点咯~~~
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half_honey
发表于 2011-10-14 13:23:40 | 显示全部楼层
太复杂太书面的问题~微电子相关的或者工艺书上应该都有哒！
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cherryic
发表于 2011-10-24 15:54:18 | 显示全部楼层
鸟嘴效应顾名思义是说形状很像个鸟嘴，主要是老工艺上用到了LOCOS会出现这种情况，场氧隔离的时候要长厚氧，是湿法长的，因此会有一部分尖尖的鸟嘴长到栅去，减小了W的实际长度
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发表于 2011-10-31 17:24:51 | 显示全部楼层
这个就是 你看下就知道了[img][/img]
9Y9%9Z5(TPMT}]52S5(%1$1.jpg
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sascha362
发表于 2012-7-1 21:10:54 | 显示全部楼层
感謝樓上的大大詳細的解答
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wjb158
发表于 2012-7-2 20:40:38 | 显示全部楼层
我看7楼的图不错，可以解释了，不过就是夸张的多了，如果没有看懂那你 就要去了解工艺，或者你找我给你图做比较。
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gedy
发表于 2012-7-6 23:55:14 | 显示全部楼层
可能是因为晶向不同引起的扩散速度不同导致的现象
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