设计规则中的的FEOL和BEOL是什么意思？

kmandl · 发表于 2019-3-25 09:34:44

也就是说工艺文档里写的FEOL/BEOL是 1um/0.5um指的就是器件特征尺寸最小是1um，而互联金属最小线宽是0.5um？

zhg_zhang · 发表于 2019-5-22 16:11:47

icfbicfb 发表于 2011-9-7 00:06
FEOL ： front end of line , before Contact ,that is NW , AA, PO , VTH, VTL,
ESD , RPO , SP, SN . ...

感谢，学习到了。：D

Hanscheng · 发表于 2021-10-28 15:02:00

学习了

fenghws · 发表于 2022-3-9 09:23:57

多年后来看还是很有用！

KAKOII · 发表于 2022-12-2 15:34:52

学习到了。这些DR文件的缩写真的挺无语的，为什么不列一个附表列写这些缩写。

七海之风 · 发表于 2023-2-2 20:05:52

学到了

woosee · 发表于 2023-2-3 17:06:52

wesley_wan 发表于 2011-9-1 16:20
FEOL: Front-end of line（器件部分）
BEOL: Back-end of line（互联）
制程以contact为界 ...

[求助] 设计规则中的的FEOL和BEOL是什么意思？