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EETOP 创芯网论坛 (原名：电子顶级开发网)»论坛 › IC 设计及制造（半导体、微电子） › Analog Layout（版图） › Layout讨论区 › 设计规则中的的FEOL和BEOL是什么意思？
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[求助] 设计规则中的的FEOL和BEOL是什么意思？

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terry8876
发表于 2011-8-29 19:53:45 | 显示全部楼层 |阅读模式

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设计规则中的的FEOL和BEOL是什么意思？
BEOL, FEOL, 设计规则

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yutaotmac
发表于 2011-8-30 10:56:50 | 显示全部楼层
不知道啊！！！！！！
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randysong
发表于 2011-8-31 09:46:22 | 显示全部楼层
设计规则文件中肯定有相关介绍的
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jiangtaojack
发表于 2011-8-31 09:50:13 | 显示全部楼层
把rule看仔细了啊
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关东客1
发表于 2011-8-31 13:39:11 | 显示全部楼层
FEOL=front -end of layout
BEOL=back -end of layout
以contact来分界，形成device以前的工艺流程为FEOL，之后的（也就是互联）为BEOL。基本是这个意思吧！
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wesley_wan
发表于 2011-9-1 16:20:19 | 显示全部楼层
FEOL: Front-end of line（器件部分）
BEOL: Back-end of line（互联）
制程以contact为界
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回复 支持 1 反对 0

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terry8876
 楼主| 发表于 2011-9-1 22:21:07 | 显示全部楼层
回复 5# 关东客1


    3Q~~~
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terry8876
 楼主| 发表于 2011-9-1 22:30:41 | 显示全部楼层
回复 6# wesley_wan


    3Q~~~
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guji162
发表于 2011-9-5 07:49:20 | 显示全部楼层
学习了啊！谢谢！
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icfbicfb
发表于 2011-9-7 00:06:37 | 显示全部楼层
FEOL ： front end of line ,  before Contact ,that is NW , AA, PO , VTH, VTL,
ESD ,  RPO , SP, SN  ..  contact

BEOL : after Contact ,  m1, v1 , m2 , v2 ,m3 , v3  till  Mtop ,  passivation , AP ,  RV ,

FEOL 就是contact以前的层次， BEOL 主要指金属互联层
这些是由于工艺顺序决定的
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