请教：0.5um FEOL/0.35um BEOL，其中的数字指的是什么？

talanton · 发表于 2014-11-6 00:10:10

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0.5um FEOL/0.35um BEOL 看文档里是这么写的，这个0.5um和0.35um指的是什么啊？是谁和谁的间距啊？什么是前端工艺，什么是后端工艺？

tuohong · 发表于 2014-11-6 09:12:01

前端和后端一般是以contact作为分界的，contact之前为前端，contact之后（包含contact）为后端。
这个工艺的0.5um指的是器件是基于0.5um工艺的，0.5是工艺的特称尺寸，一般指的是栅的最小长度；0.35指的是后道是基于0.35um工艺的，但是后道的特征尺寸一般有那个值来衡量我不了解。
这个工艺大概就是在器件级用的是0.5um工艺来做的，到后道连接部分用0.35um的工艺，减小芯片面积。
对楼主的发帖时间顶礼膜拜。

motofatfat · 发表于 2014-11-6 09:54:10

樓上正解
通常指 gate 的 length

motofatfat · 发表于 2014-11-6 09:55:15

0.5um FEOL/0.35um BEOL
通常這樣寫是指這份文件
這兩個製程通用

talanton · 发表于 2014-11-9 23:11:57

回复 2# tuohong

非常感谢你的回答，但是我对这方面真的不是很懂，能问一下contact是什么么？是不是就是打孔前的那些步骤？

tuohong · 发表于 2014-11-10 08:46:35

contact不是一个步骤，而是一个层次，就是那个方方的孔，工艺上一般把metal1向下连的连接孔层（比如metal1连接到poly的孔，metal1连接到有源区的孔等）叫做contact层，把metal之间互连的连接孔层叫做via层。
所以回到你之前的问题，就是说contact层次之前的层次遵循的是0.5um的设计规则，contact之后的层次遵循的是0.35um的设计规则。

motofatfat · 发表于 2014-11-10 10:41:37

樓上正解

talanton · 发表于 2014-11-12 22:07:37

回复 6# tuohong
收益匪浅，谢谢你的耐心解答

zhichuren · 发表于 2014-11-13 15:45:06

感谢，最近正好要了解这些知识。

毅飞虎 · 发表于 2014-11-25 23:01:28

回复 6# tuohong

讲的太好了，佩服

[求助] 请教：0.5um FEOL/0.35um BEOL，其中的数字指的是什么？

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