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发表于 2011-7-30 21:26:47
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1,关于NDD
NDD是N type drift drain, 是N型漂移区, 这一层在这个工艺中做在HV device上面,它是用来增大NMOS drain端的耐压,所以浓度比N+要低,结深比N+深, breakdown电压比N+高
2,不知道你所指的Pmos是HV还是LV,但是HV pmos应该会做一些特殊处理的
3,个人感觉channel stopper implant有改变Vt和增强防punchthrough的作用,所以低压mos没有做,也不是很奇怪,因为自然形成的mos能够满足spec要求,加了channel stopper有可能让低压mos的参数变差
拙见而已,欢迎指正。 |
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