请问怎样看到中芯国际.18工艺下的工艺常数，就是迁移率与单位面积的栅氧化层电容之积

chaoqunlv · 发表于 2011-6-3 22:03:58

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请问怎样看到中芯国际.18工艺下的工艺常数，就是迁移率与单位面积的栅氧化层电容之积？Un Cox之积

copylife · 发表于 2011-6-4 16:38:24

DC仿真下有个beta值吧，否则直接看工艺文件应该只可以查到un，e等参数，然后再用公式计算。

my_8n · 发表于 2011-6-4 16:42:14

un是nmos的参数，在模型中p和N的迁移率都叫u0
cox根据栅氧厚度tox来计算，公式书上都有
直接打开模型文件找就找到啦

inf · 发表于 2011-6-5 15:00:51

用来算，好像都不准

feynmancgz · 发表于 2011-6-5 15:02:06

直接仿一下不就得了

copylife · 发表于 2011-6-6 09:41:13

用来估计而已，不用非常精确。

lgy747 · 发表于 2011-6-8 10:23:03

中芯国际。18工艺的un=0.04，精确值我不太记得了，请自查model文件，Cox=ε0*εr/tox=(4*10e-9)/(36*PI* 4*10e-9)=0.009 F/m^2 ，其中ε0=(10e-9)/36*PI,真空介电常数，εr=4,是SiO2的相对介电常数

323217588 · 发表于 2011-6-8 14:58:54

在.scs文件里有，就是仿真调用的文件

chaoqunlv · 发表于 2011-6-8 18:43:44

谢谢大家啊

jerry_zjnb · 发表于 2011-11-26 18:35:20

谢谢各位，，，，真心学习！

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