MEMSCAP三种MEMS工艺：SOIMUMPs、polyMUMPs、MetalMUMPs

yansendai · 发表于 2014-7-30 10:28:20

这个资料比较容易懂，适合公司做工艺开发的工程师学习。
建议以后的上传资料至少把大纲放上去，下载之前好做判断需不需要要

ralphtw · 发表于 2014-11-21 14:35:10

mems process !!!

jason12345678 · 发表于 2015-2-27 09:51:42

已经下载留用了非常感谢！

xuanzuhao · 发表于 2015-3-17 16:51:05

nice，ths

peterlin2010 · 发表于 2015-4-18 07:12:49

可以让MEM 跟一般 CMOS 同PROCESS ?
那要如何模拟有类似 paper ??

有听说因受限标准CMOS 所以不好使用 ,
不少MEM 类是独立一颗DIE
使用 MEM PROCESS 无法跟CMOS 整合 .

zhaoqi009 · 发表于 2015-4-27 10:14:26

谢谢楼主分享，学习了

lisy0526 · 发表于 2015-7-2 13:15:48

多谢楼主！！！！！

萧剑雨歌 · 发表于 2016-9-9 20:58:38

好东西，太感谢了

luoguoguo · 发表于 2017-10-16 09:28:12

回复 1# qkq305

谢谢分享

Desingman · 发表于 2018-3-2 01:31:15

very thanks

[资料] MEMSCAP三种MEMS工艺：SOIMUMPs、polyMUMPs、MetalMUMPs