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这是一套很经典的semiconductor technoloy handbook。 Enjoy.....
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basic bipolar theory and fabrication
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basic CMOS theory and fabrication
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diffusion process
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basic diode theory and fabrication
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implant
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Intro.PDF
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introduction of this handbook
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Ox and Cleaning.PDF
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oxidation and cleaning
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photo and ETCH.PDF
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Physics.PDF
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