Nikon光刻机对准机制和标记系统研究

semiclxue · 发表于 2011-3-27 21:19:05

您需要登录才可以下载或查看，没有账号？注册

x

套刻精度是步进式光刻机最重要的指标之一。从应用角度探讨了Nikon 系列
光刻机的对准方法,举例说明了众多对准标记在实际掩模版上的摆放原则。清华微电子所

capboy · 发表于 2011-4-23 17:41:18

不知道有没有佳能的

sunwoli · 发表于 2011-6-22 07:17:57

我们用的是OLYMPUS

Driftlily · 发表于 2011-6-28 14:58:10

我们刚好用nikon光刻机，谢谢楼主分享

zying · 发表于 2011-9-20 22:41:54

Thanks

appleton · 发表于 2012-1-28 21:19:35

tank you!!!!

afatman · 发表于 2012-1-31 12:12:45

很好啊谢谢啦

gentlofly · 发表于 2012-5-10 23:29:42

正好用的是Nikon光刻机，谢谢楼主

feigekuaipao · 发表于 2014-4-18 22:46:06

学习学习啊

optoelectronic · 发表于 2014-7-7 22:30:57

感谢semiclxue 提供的一篇2002年的文章。

[资料] Nikon光刻机对准机制和标记系统研究