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christon

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【分享】微传感器与微执行器全书 （Micromachined transducers sourcebook） MEMS方面的权威著作，我找了很久，终于找到了，是中文版的，暂时还没找到英文版的，望有英文版的能分享一下。 基本信息 原书名：Micromachined Transducers Sourcebook 原出版社： The McGraw-Hill 作者： [美]Gregory T.A.Kovacs    [作译者介绍] 译者： 张文栋 等 出版社：科学出版社 ISBN：7030105656 上架时间：2004-8-11 出版日期：2003 年3月 开本：B5 页码：673 版次：1-1 内容简介本书是一部关于微机械系统方面的重要论著和首选技术参考书，全书共分九章，几乎涉及MEMS技术的所有研究领域，畅述了各个领域中MEMS相关的基本原理，并在此基础上，对典型器件和系统的设计与工艺进行了详细的介绍。特别是本书提供了大量的参考文献，为读者参考国内外相关研究情况提供了全面的背景资料。本书可供MEMS及相关领域的专家学者、科研技术人员以及大专院校师生查阅使用。 目录回到顶部↑第一章 概述 1．微机械加工器件简介 2．什么是换能器 3．传感器与执行器系统的组成 4．什么是微传感器和微执行器 5．微机械加工在什么情况下才有意义 5．1 尺度与性能 5．2 降低成本问题 5．3 微器件和微系统的复杂度 6．要考虑的问题 7．微传感器与微执行器的市场 7．1 作为"使能技术"的微机械加工 7．2 市场会爆发性地增长吗 8．信息来源 8．1 在线资源 8．2 微传感器与微执行器的会议 8．3 参考书与论文收集 8．4 杂志 8．5 学位论文 8．6 专利 .9．结论 参考文献 第二章 微机械加工技术 1．微机械加工技术的能力与局限性 2．微机械加工材料 2．1 衬底 2．2 掺杂膜和掺杂材料 3．微机械术语 4．普通半导体的一般特性 4．1 硅的机械特性 4．2 硅与其他半导体材料的天然氧化物 4．3 典型的硅片 5．体(去除)加工 5．1 硅湿法腐蚀 5．1．1 各向同性湿法腐蚀 5．1．2 各向异性湿法腐蚀 5．2 砷化镓及其相关III-V族化合物的湿法腐蚀 5．3 湿法腐蚀的电化学调节 5．3．1 p-n结腐蚀停止方法 5．3．2 光子注入电化学腐蚀 5．4 多孔硅的形成 5．5 其他湿法体腐蚀的技术及材料 5．5．1 多孔铝的各向异性湿法腐蚀 5．5．2 石英的各向异性湿法腐蚀 5．5．3 辅助离子注入湿法腐蚀 5．5．4 离子轨迹辅助损伤湿法腐蚀 5．5．5 单侧晶片腐蚀 5．5．6 通用湿法腐蚀概念 5．6 气相干法腐蚀 5．6．1 二氟化氙腐蚀 5，6．2 卤间化合物腐蚀的化学性质 5．6．3 其他气相腐蚀方法 5．7 等离子体／反应离子腐蚀 5．7．1 等离子腐蚀中依赖于掺杂物的各向同性 5．7．2 高深宽比干法腐蚀方法 5．7．3 可调整各向异性腐蚀工艺 5．8 激光驱动体腐蚀工艺 5．8．1 激光穿孔 5．8．2 激光退火技术 5．8．3 激光驱动腐蚀法 6．"表面"(添加)工艺 6．1 薄膜工艺 6．1．1 微机械加工中的非金属薄膜 6．1．2 非金属薄膜的湿法腐蚀 6．1．3 非金属薄膜的干法腐蚀 6．1．4 金属薄膜的微机械加工 6．1．5 金属薄膜的湿法腐蚀 6．1．6 金属薄膜的干法腐蚀 6．1．7 搬移图形化工艺 6．2 激光驱动沉积 6．3 电沉积(电镀) 6．3．1 电沉积原理 6．3．2 直流电镀 6．3．3 脉冲式电镀 6．3．4 电镀中的搅拌 6．3．5 "黑"金属层 6．3．6 "无电极"沉积 6．3．7 镀膜模板 6．3．8 无模板局部电镀 6．4 选择性外延生长 7．键合操作 7．1 阳极键合 7．1．1 用沉积玻璃的阳极键合 7．2 硅熔融键合 7．3 其他键合技术 7．4 键合复合工艺 8．牺牲层工艺 8．1 在湿分离时的黏附问题 8．1．1 在湿法腐蚀分离时的防粘接问题 8．2 牺牲层工艺的例子 8．2．1 牺牲光刻电铸成型工艺(SLIGA) 8．2．2 SIMOX牺牲层 8．2．3 气态牺牲层腐蚀 8．2．4 等离子体腐蚀有机牺牲层 8．3 模板复制 8．3．1 用微机械模板浇注成型 8．3．2 电镀模板复制 8．3．3 基于CVD(化学气相沉积)的模板复制 8．3．4 陶瓷浆模板工艺 8．3．5 衬底模板上面的预成型 9．密封空腔的形成 10．表面修饰 11．印刷与立体光刻 11．1 丝网印刷技术 11．2 转印技术 11．3 用于印刷的粉末填充聚合物 11．4 三维光刻 11．5 转印立体生成技术 12．其他微机械技术 12．1 尖顶的形成 12．1．1 自封闭掩模技术 12．1．2 等离子体微掩模 12．1．3 湿腐蚀 12．2 化学-机械抛光和平面化 12．3 放电加工 12．4 研磨粉加工 12．5 精密机械力口工 12．6 扫描探针加工 12．7 热迁移 12．8 光敏玻璃微机械加工 12．9 聚焦离子束微机械加工 参考文献 第三章 力学传感器与执行器 1．引言 2．基本力学 2．1 轴向应力和应变 2．2 剪应力和剪应变 2．3 泊松比 2．4 常用微结构挠度方程 2．4．1 静态梁挠度方程 2．4．2 静态转矩方程 2．4．3 静态平板方程 2．5 动态特性 2．6 热噪声 3．材料的力学特性 3．1 材料失效 3．2 通用材料问题 3．3 薄膜的机械特性 3．3．1 应力测量 3．3．2 其他力学性能的测量 4．基本的机械装置和结构 4．1 平面旋转机械装置 4．2 平面外微机械装置 4．3 结构部件 4．4 双稳态机械器件 4．5 自组装 5．力学传感器 5．1 力传感器件 5．1．1 压阻和压电式应变传感器 5．1．2 压结效应 5．1．3 压电效应 5．1．4 电容式传感器 5．1．5 隧道式探测器 5．2 微机械力学传感器 5．2．1 微机械应变计 5．2．2 加速度计 5．2．3 微机械陀螺 5．2．4 压力传感器 5．2．5 传声器 5．2．6 触觉传感器 5．2．7 生物学力传感器 6．力学执行器 6．1 执行器机理 6．1．1 静电激励 6．1．2 热执行器 6．1．3 形状记忆合金执行器 6．1．4 气动／水力激励 6．1．5 压电激励 6．1．6 磁执行器 6．1．7 化学执行器 6．1．8 混合执行器结构 6．1．9 生物执行器 7．机械电路元件 7．1 机械谐振器 7．1．1 悬臂梁谐振器 7．1．2 侧面谐振器 7．1．3 膜谐振器 7．2 机械继电器和RF开关 7．2．1 通用继电器 7．2．2 射频开关和开关电路 参考文献 第四章 光学传感器与执行器 1．概述 1．1 光谱 1．2 光学传感器与执行器相关计量单位 1．3 黑体辐射 2．光学传感器 2．1 光学传感器的类型 2．1．1 光学探测基本原理 2．1．2 直接光电传感器 2．1．3 间接光学传感器 2．1．4 光电探测器的主要参数 2．2 直接光电传感器 2．2．1 半导体中的光吸收 2．2．2 光学传感器的带结构 2．2．3 量子效率 2．2．4 光电发射传感器 2．2．5 光导传感器 2．2．6 结型光电检测器 2．2．7 电容式光电传感器 2．3 间接光学传感器 2．3．1 热电式探测器 2．3．2 辐射热测量器 2．3．3 热电偶 2．3．4 红外线指示器 2．3．5 磷和其他"间接"光传感器 2．3．6 间接光微传感器的比较 2．4 生物光学传感器 2．4．1 人类视觉转导结构 2．4．2 基本视觉转导机理 3．光执行器 3．1 光发射 3．1．1 发光二极管 3．1．2 硅发光二极管 3．1．3 有机发光二极管 3．1．4 气体和固体激光器 3．1．5 微机械白炽灯 3．1．6 等离子气体光源 3．1．7 场致发光源 3．1．8 场致发射显示 3．1．9 生物发光(荧光) 3．2 光调制器 3．2．1 液晶显示 3．2．2 反射微机械光调制器 3．2．3 透射型微力学光调制器 3．2．4 其他光调制器 4．微机械光学结构 4．1 微机械光纤耦合器 4．2 微机械反射器件 4．2．1 固定微镜 4．2．2 可定位微镜 4．3 微机械传导元件 4．3．1 光波导 4．3．2 镜头 4．4 滤光镜和光谱分析仪 4．4．1 干涉滤光镜 4．4．2 法布里-珀罗滤波器 4．4．3 机械式可调IR滤波器 4．4．4 分光仪 4．5 集成光学系统 4．5．1 集成自由空间光学系统 参考文献 第五章 电离辐射传感器 1．引言 1．1 辐射测量单位 1．2 辐射的类型 1．2．1 a放射 1．2．2 B放射 1．2．3 r放射和X放射 1．2．4 中子射线 2．电离探测器 3．闪烁探测器 4．直接固态辐射探测器 4．1 集成探测器阵列 5．其他探测器类型 5．1 转换型传感器 5．2 切伦科夫效应探测器 5．3 热探测器 5．4 MOS门电压探测器 5．5 热发光式探测器 5．6 平行光管 6．辐射对电子仪器的影响 7．辐射对生物的影响 参考文献 第六章 热传感器与执行器 1．概述 2．温度的测量 2．1 基本术语 2．2 热传递方式 2．2．1 传导 2．2．2 对流 2．2．3 辐射 2．3 非接触温度测量法 2．4 热-机械传感器 2．5 热阻传感器 2．5．1 热阻效应 2．5．2 简单的薄膜热阻变换器 2．5．3 热变电阻器 2．5．4 半导体热阻变换器和热变电阻器 2．5．5 热阻传感器自加热现象 2．5．6 接口电路 2．6 热电偶 2．7 基于结的热传感器 2．7．1 二极管温度传感器 2．7．2 晶体管温度传感器 2．8 其他热学传感器 2．8．1 声学温度传感器 2．8．2 石英与其他谐振温度传感器 2．8．3 隧道型温度传感器 2．9 生物热传感器 3．热学执行器 3．1 焦耳-汤普森致冷器 3．2 其他的液体致冷剂 3．3 珀尔帖效应热泵 4．热传感器／执行器组合 4．1 热稳定电路 4．2 温度交流／有效值变换器 5．热气体压力传感器 6．热流传感器 7．其他类型的温度传感器 7．1 微机械量热计 7．2 露点(热)湿度传感器 7．3 热学电磁混频器 参考文献 第七章 磁和电磁传感器与执行器 1．引言 1．1 术语与定义 2．磁现象 2．1 霍尔效应 2．2 物理磁阻效应 2．3 几何磁阻效应 2．4 巨磁阻效应 2．5 磁光效应 2．6 磁各向异性 2．6．1 形状的各向异性 2．6．2 压力的各向异性 2．6．3 晶体的各向异性 2．7 磁畴 3．磁传感器 3．1 霍尔效应传感器 3．1．1 平板式霍尔电压传感器 3．1．2 电压偏移的问题 3．1．3 霍尔板的双极型工艺 3．1．4 MOS霍尔板 3．1．5 非硅霍尔板材料 3．1．6 磁二极管 3．1．7 磁晶体管 3．1．8 漏极分裂磁金属氧化物半导体场效应管 3. 1．9 在集成电路中的霍尔器件 3．2 载流子磁畴磁力计 3．3 磁通门磁力计 3．4 隧道磁力计 3．5 隧道二极管磁传感器 3．6 真空电子磁传感器 3．7 超导量子干涉磁力计 3．8 其他磁传感器 3．9 生物学磁传感器 4．磁执行器 4．1 磁场执行器 4．2 磁致伸缩执行器 4．3 磁器件制造技术 4．4 带有驱动线圈的磁执行器 4．4．1 电镀磁线圈 4．4．2 导线键合磁线圈 4．4．3 外部绕制的磁线圈 4．5 外加磁场的磁执行器 4．6 磁式微型马达 4．7 涡流探伤传感器 4．8 共振磁传感器 4．9 磁读／写头 4．9．1 存储装置的磁头 4．9．2 磁墨打印头 4．10 磁泡存储器 5．微机械电磁器件 5．1 无源元件和电路 5．2 微机械的其他RF应用 参考文献 第八章 化学和生物传感器与执行器 1． 引言 2． 化学传感器 2．1 无源化学传感器 2．1．1 电阻化学传感器 2．1．2 电容化学传感器 2．1．3 化学机械传感器 2．1．4 测热传感器 2．1．5 金属氧化物气体传感器 2．2 基于功函数的传感器 2．2．1 ADFET气体传感器 2．2．2 铂基氢传感器 2．2．3 离子灵敏FET(ISFET和CHEMFET) 2．3 电化学传感器 2．3．1 离子电容 2．3．2 电荷转移：电阻机理 2．3．3 扩散电阻和沃伯格阻抗 2．3．4 基本电极电路模型 2．3．5 使用微电极的电化学感测 2．4 声波传感器 2．5 生物传感器 2．5．1 共振生物传感器 2．5．2 光检测生物传感器 2．5．3 热检测生物传感器 2．5．4 ISFET生物传感器(CHEMFETs) 2．5．5 其他基于pH的生物传感器 2．5．6 电化学检测生物传感器 2．5．7 CMOS可兼容生物传感器加工工艺 2．5．8 其他生物传感器技术 2．6 生物分子增益机理 2．7 利用传感器阵列提高选择性 2．8 组合阵列 2．9 生物化学传感器 2．9．1 生物味觉传感器 2．9．2 生物味觉传感器 3．化学执行器 3．1 电化学机械执行器 3．2 聚合体机械执行器 3．3 薄膜电池 4．生物电子接口器件 4．1 神经系统穿透探针 4．2 再生神经电极 4．3 培养细胞系统 4．3．1 培养系统的表面改良 5．混合生物传感器 参考文献 第九章 微流体器件 1．概述 1．1 基本的流体特性和方程 1．2 流动的类型 1．3 微结构中的气泡和粒子 1．4 毛细作用力 1．5 流阻 1．6 流体的容量 1．7 流体感应系数 2．流体管道 2．1 微机械管道 2．2 表面微机械管道 2．3 其他的管道类型和系统途径 3．流体管道的应用 3．1 混合器 3．1．1 层流混合器 3．1．2 羽毛状混合器 3．1．3 主动式混合器 3．2 基于扩散的萃取器 3．3 流体放大器和逻辑器 4．流体传感器 4．1 流动传感器 4．2 黏度／密度传感器 4．3 其他流体传感器 5．阀 5．1 无源阀 5．2 有源阀 5．2．1 气动阀致动 5．2．2 热气动阀致动 5．2．3 相变阀致动 5．2．4 固体热膨胀阀致动 5. 2．5 压电阀执行机构 5．2．6 静电阀致动 5. 2．7 电磁执行阀 5．2．8 双稳阀结构 6. 泵 6. 1 气泡泵 6．2 膜片泵 6. 3 扩散泵 6．4 旋转泵 6．5 电水力泵 6．5．1 注入型EHD泵 6．5．2 非注入型EHD泵 6．6 电析／电泳泵 6．7 超声泵 6．8 真空泵 7．液滴发生器 8．其他器件 8．1 用微器件的宏观流动控制 8．2 微粒过滤器和捕获器 9．微流量系统的问题 9．1 连接器 9．2 封装／系统集成 9．3 可回收或一次性器件的设计 10．集成化学分析系统 10．1 化学分析的衡量问题 10．2 气体色谱系统 10．3 液体色谱系统 10，4 电泳系统 10．5 细胞融合器件 10．6 DNA放大(PCR)系统 10．7 多功能流量系统 11．生物流体系统 11．1 生物流管 11．2 生物阀 11．2．1 被动生物阀 11．2．2 主动生物阀 11．3 生物泵 参考文献 索引 后记

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