non-silicide的poly电阻?

kuohsi · 发表于 2010-5-28 17:13:54

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本帖最后由 kuohsi 于 2010-5-28 17:15 编辑

我们知道有silicide、salicide的工艺，
所以有non-salicide的poly电阻，
但是不是没听说有non-silicide的poly电阻?

nowich · 发表于 2010-5-28 17:54:37

有这种电阻哦~

有宋 · 发表于 2010-5-28 22:07:48

salicide是一种具体的silicide实现方式
polycide是另一种
下面链接有详细解释
http://hi.baidu.com/lixu1113/blo ... 15f70a908f9d6c.html

lucia_wan · 发表于 2010-5-29 14:31:49

salicide = silicide+polycide.

analogmind · 发表于 2010-5-29 16:46:14

我们知道有silicide、salicide的工艺，
所以有non-salicide的poly电阻，
但是不是没听说有non-silicide的poly电阻?
kuohsi 发表于 2010-5-28 17:13

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salicide 就是self-aligned silicide。和silicide 相比只是工艺流程上的改进而已，电阻物理上的性质没有什么区别。现在绝大多数主流工艺都是用salicide的。

sxzong_hit · 发表于 2010-5-29 21:52:47

楼上正解～～

kuohsi · 发表于 2010-5-31 17:23:20

请问non-salicide就是high-R poly吗?

有宋 · 发表于 2010-5-31 20:21:39

7# kuohsi

不是，non-salicide只是用sab阻挡silicide的形成，形成的是unsilicide的poly，单位阻值提高数10倍，但highR poly在这基础上还要阻挡离子注入，单位阻值较unsalicide要高

kuohsi · 发表于 2010-6-1 10:49:39

所以non-salicide poly电阻广义来讲就是non-silicide poly电阻吧!?

awwddbb · 发表于 2010-8-22 18:46:18

谢谢分享。

[讨论] non-silicide的poly电阻?