VDMOS和LDMOS是否可共存？

chworm · 发表于 2010-5-25 09:43:26

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VDMOS和LDMOS是否可以集成在一起？VDMOS工艺和普通MOS工艺兼容吗？

yoshida2010 · 发表于 2010-5-25 22:50:56

thank you

yoshida2010 · 发表于 2010-5-25 22:52:51

thank you

yoshida2010 · 发表于 2010-5-25 22:54:49

thank you

chworm · 发表于 2010-8-3 20:43:05

如果VDMOS工艺可以兼容普通MOS器件，是否就可以让VDMOS器件和LDMOS器件共存？

miggychen · 发表于 2010-11-3 14:21:29

理论上是可以的，实际中比较少见

kevin_gao · 发表于 2011-6-16 10:33:30

这个比较难，因为VDMOS的D是在芯片背面，工艺上有很大的难度。
一般用LDMOS和CMOS集成，BCD工艺就是这样。

rehty · 发表于 2012-4-22 12:55:14

可以的，主要看器件性能了，通常工艺是针对按需求优化

andy2000a · 发表于 2021-4-1 17:41:38

kevin_gao 发表于 2011-6-16 10:33
这个比较难，因为VDMOS的D是在芯片背面，工艺上有很大的难度。
一般用LDMOS和CMOS集成，BCD工艺就是这样。 ...

这个比较难，因为VDMOS的D是在芯片背面，工艺上有很大的难度。
一般用LDMOS和CMOS集成，BCD工艺就是这样

=> YES

for VDMOS + CMOS => use multi die MCM package

hadeheng · 发表于 2023-8-29 16:01:07

有收获，谢谢楼上

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