chrt35 工艺poly3为什么不能独立于poly2存在

wangweiww34 · 发表于 2010-5-13 09:57:00

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在使用chtr35工艺时,poly3，poly2是电容的上下两级，现在我想单独使用poly3，但是总是提示poly3 cannot exist wihtout poly2,这是为什么？从工艺实现上，如果不使用poly2而使用poly3会有什么后果？

minch · 发表于 2010-5-13 12:41:22

1# wangweiww34

就算不用Poly2，画上不用也没关系啊！难道担心电容太大？

如果工艺说一定要，你就不能不画。如果你只画Poly3不画Poly2，你很可能得不到你画的Poly3因为Poly3可能被etch当下面没有Poly2。建议问问foundry!

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