請問有沒有可以將光罩檔繪製成3D結構圖的軟體？

mmmgogogo · 发表于 2010-4-28 02:15:22

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本帖最后由 mmmgogogo 于 2010-4-28 03:01 编辑

各位高手大家好，
不好意思想請問各位有沒有可以將光罩檔(GDSII)繪製成3D結構圖的軟體？
或是簡單的3D製程模擬(其實我主要要結構圖)軟體？
我試過Silvaco，可是只有1D的模擬，我想要可以繪製3D的。
也試過Google Sketchup，可是對於精準的元件來說，還是很麻煩且難精確。
麻煩各位幫忙了！
感謝各位！

類似下面這種圖：

登录/注册后可看大图

mmmgogogo · 发表于 2010-4-28 10:28:41

抱歉
推一下，因為已經跑到好幾頁了

鄭克 · 发表于 2010-4-28 15:21:31

太概沒有吧

鄭克 · 发表于 2010-4-28 15:23:25

為何要用呢?

mmmgogogo · 发表于 2010-4-28 22:56:32

為何要用呢?
鄭克发表于 2010-4-28 15:23

登录/注册后可看大图

感謝您的回覆

這個問題是由於有的時候我只需要結構圖來說明
有的時候不一定要作製程模擬的
我常常需要像作process flow這一類示意圖
因此只需要可以畫出3D結構的就好了
甚至只要可以沈積、蝕刻就可以完成3D的結構說明
所以想找一款可以將光罩檔轉成3D結構的軟體
或是可以簡單畫3D結構的也可以

謝謝大家