划片槽的结构是什么？

cyl · 发表于 2013-6-21 09:36:43

scriber line内可以放一些测试电路；

hszgl · 发表于 2013-6-21 09:59:10

回复 10# xiaowanzi88

呵呵，我说了是我们的做法。而且不是打孔，而是铺满。seal ring是seal ring，除了防止划片破坏意外，还有接地隔断噪声的作用。我们流多芯MPW，为了节省面积，seal ring做的窄应力隔断差，保险起见才这么搞。
划片槽是什么样子，各有各的做法，不是你说了算的。

xiaowanzi88 · 发表于 2013-6-21 10:30:30

你前面三段说得挺好的。
最后一句没必要加上去，你才做几年啊？这口气

hszgl · 发表于 2013-6-21 11:42:04

本帖最后由 hszgl 于 2013-6-21 12:13 编辑

回复 3# mickey1999

steper mask的对准标记放在field边缘的street里。wafer的对准标记比较大，street里放不下，放在专门设计的field的里。

hszgl · 发表于 2013-6-21 12:13:21

回复 13# xiaowanzi88

呵呵，口气越大，说明越没本事。我只是证明下自己没本事。

hszgl · 发表于 2013-6-21 12:20:39

回复 9# 过路心客

没有金属，这只是我们在做多芯MPW时的特殊做法，不必参考。整张wafer的设计不一样。

semico_ljj · 发表于 2013-6-21 12:46:23

测试结构。

igooo · 发表于 2014-3-18 11:24:23

请问怎么跟代工厂说 “我们的划片槽要做成钝硅的” ？是什么都不放就做成钝硅的了？

halfwit · 发表于 2014-3-26 16:46:26

很多Foundry都是把测试图形放在划片槽内

lishiliang · 发表于 2014-3-31 11:45:16

划片槽不用画的吧？？我怎么记得就加了个seal ring~~~~~~~~~

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