MEMS 半导体工艺

haiwind009 · 发表于 2010-3-14 17:57:05

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借人气发贴：

可以讨论讨论MEMS所用的半导体工艺特点么？

感觉MEMS和IC的工艺分析方法，应该有很多相似之处

mickey1999 · 发表于 2010-3-14 22:02:26

IC 工艺主要要加工成器件特性，而MEMS工艺是加工成微型传感器和微执行器。所以MEMS要加工成三维形状，而目前IC是平面型的工艺。以上只是我的理解。希望有更深刻的理解呈现在网站上来共享。

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