ITRS2009

wyang2009 · 发表于 2010-2-22 16:29:48

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以下各行是什么意思啊？

Table B ITRS Table Structure—Key Lithography-related Characteristics by Product Near-term Years

Flash Uncontacted Poly Si ½ Pitch (nm) 为什么用1/2沟道长度衡量，是特征尺寸么？Uncontacted Poly Si 译成什么？

DRAM stagger-contacted Metal 1 (M1) ½ Pitch (nm) stagger-contacted Metal 1 译成什么？

MPU/ASIC stagger-contacted Metal 1 (M1) ½ Pitch (nm)

MPU Printed Gate Length (nm) 译成什么？

MPU Physical Gate Length (nm) 译成什么？

wyang2009 · 发表于 2010-2-22 17:26:35

刚看明白解决了，谢谢大家！

wyang2009 · 发表于 2010-2-22 17:31:59

Uncontacted Poly Si 指没有接触孔的多晶硅线条间距
stagger-contacted Metal 1 指包含接触的金属层1的线条间距

eda_wgl · 发表于 2010-3-16 16:01:04

友情提供ITRS2009的pdf文档~

liuve1983 · 发表于 2010-3-16 19:30:20

这是什么？怎么看都看不懂

kyoiwaiah · 发表于 2010-3-22 22:58:48

顶一下

zyyzyy · 发表于 2011-12-6 09:45:33

可以和百度文库中的ITRS2009中文对照着看.

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