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beyonce · 发表于 2010-1-24 20:03:40

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版图的design rule 里面的，请问什么意思啊？

yisaogua · 发表于 2010-1-25 22:44:23

对准序，
光刻工艺通常用到多个掩膜板mask，精确的将版图加以物理实现的过程就是掩膜板对准的过程，这些掩膜板的对准顺序（先刻哪个再刻哪个对design rule 参数是有影响的），也就是光刻的执行顺序。

beyonce · 发表于 2010-1-26 11:10:22

对准序，
光刻工艺通常用到多个掩膜板mask，精确的将版图加以物理实现的过程就是掩膜板对准的过程，这些掩膜板的对准顺序（先刻哪个再刻哪个对design rule 参数是有影响的），也就是光刻的执行顺序。
yisaogua 发表于 2010-1-25 22:44

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谢谢楼上了，非常感谢！

sunkaitttt · 发表于 2010-8-16 01:07:14

Very good explanation!

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