请问下L-edit中manufacturing grid设置问题

afliek · 发表于 2009-12-7 19:53:17

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请问如果在做版图时的最小线宽是1um，那么在L-edit中的manufacturing grid一般设置为多少，如果此时要画一个大小在2um的六角形元胞，因为六角形的六个点并不都在最小线宽的整数格点上，这样可以实现吗？曝光的图形会产生变形吗？

kismetsun · 发表于 2010-4-7 15:59:19

不懂，权当帮顶~

nadecbj10 · 发表于 2010-4-8 10:33:31

似乎较难，先参考一下工艺文件，看看需要最小的grid是多大。

photomask · 发表于 2010-10-15 21:17:29

o.1um即可。

darklord888 · 发表于 2011-7-25 12:25:50

正六边形怎么画，请教

louda · 发表于 2011-10-8 22:20:16

已知半径画圆，然后用60度线切

coldboy0406 · 发表于 2012-12-29 10:12:00

有没有高手能解答，同求

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