呕心沥血自制TSMC18 ADS Momentum衬底文件

xyhx · 发表于 2010-1-2 16:59:48

1# carlsimon
回复：呕心沥血自制TSMC18 ADS Momentum衬底文件

您好！
我根据您的衬底文件里的第一层金属的相关参数：
厚度t=0.53um ；电导率 σ=1.64e7
则该层金属的方块电阻为 R□=1/（t×σ）=0.115 ohms/sq
而根据MOSIS的测试情况是 0.08 ohms/sq
http://www.mosis.com/cgi-bin/cgi ... _thk_mtl-params.txt

请问这两者的区别在哪？
恭候回答！联系方式：yuanjun.chan@gmail.com