有谁知道TSMC 0.13um 工艺参数

wenxue227 · 发表于 2009-10-6 21:47:42

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如题:NMOS/PMOS
uCox=?
Vsat=?

leikang · 发表于 2009-10-8 08:02:52

谁知道SMIC 0.18的工艺参数，谢谢告知。

xyn777 · 发表于 2009-10-8 20:03:38

估算：

N：112
P：30

vto 全为0.7

xinchenglin · 发表于 2009-10-9 17:49:35

我也需要，哪位大侠提供一下?

不无道理 · 发表于 2009-10-9 18:08:29

TSMC .13也有好多不同的变种好像，就算是同一个process里面也有好多种不同的NMOS/PMOS

impulse · 发表于 2009-10-10 20:34:39

tianruo · 发表于 2009-10-11 14:53:16

0.13的貌似N为0.4、p为0.3
不同的工艺可能略有不同。
论文Cox而言，自己算算很容易的。介电常数除以栅氧厚度。

xyn777 · 发表于 2009-10-11 15:07:52

我上面说的是高开启电压的管子
另一种是0.4左右的低开启管子

semico_ljj · 发表于 2009-10-12 10:47:58

Vth0 0.45~0.5左右！

pkf690801 · 发表于 2009-11-28 01:27:14

3...........................

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