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如何计算光刻版的层数

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发表于 2009-5-13 15:46:53 | 显示全部楼层 |阅读模式

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假如我现在要设计一款逻辑电路的芯片,为了算出芯片的成本,我得知道layout设计后需要几层的光刻掩模板?请问如何算出呢?具体需要哪几层的模版呢?
另外,光刻次数跟光刻层数是怎样的一个关系呢?
 楼主| 发表于 2009-5-14 09:59:35 | 显示全部楼层
比如我要做一个一般的数字逻辑的芯片,用两层引线的
是不是只要这么几层就可以了:
NWELL   DIFF   NPLUSE  PPLUSE  GT  CONT   M1 VIA1 M2  PAD 这么几层就够了?也就是说需要10层的光刻掩膜版,是这样吗?
发表于 2009-8-13 19:46:39 | 显示全部楼层
不止, 要查工艺文件, 版图中的层次不是所有都做成对应的掩膜, 而且掩膜往往多不少的
发表于 2009-8-25 16:41:01 | 显示全部楼层
必须问代工厂
发表于 2009-8-28 22:20:32 | 显示全部楼层
ask your vendor after you know layer.
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