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Silicon Processing for the VLSI Era(1)中文版

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发表于 2009-2-21 16:51:48 | 显示全部楼层 |阅读模式

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Silicon Processing for the VLSI Era(1),很好的资料!内容:
第一章: 硅单晶生长和硅片准备  
第二章:晶格缺陷、热处理和吸杂  
第三章: 真空技术的应用  
第四章: 薄膜基础  
第五章: 外延薄膜的生长  
第六章: 化学汽相淀积  
第七章: 单晶硅的热氧化  
第八章: 扩散
第九章: 离子注入
第十章: 溅射  
第十一章: 难熔金属及其硅化物
第十二章: 光刻胶与光刻工艺技术
第十三章: 光刻机和光掩膜版
第十四章:先进光刻工艺
第十五章:湿法工艺
第十六章:干法刻蚀
第十七章:材料表征技术
第十八章:工艺优化实验的结构化设计方法

Silicon Processing for the VLSI Era(1)(中文版).part1.rar

3.13 MB, 下载次数: 517

 楼主| 发表于 2009-2-21 16:55:11 | 显示全部楼层
part2

Silicon Processing for the VLSI Era(1)(中文版).part2.rar

3.13 MB, 下载次数: 694

 楼主| 发表于 2009-2-21 16:58:49 | 显示全部楼层
part3

Silicon Processing for the VLSI Era(1)(中文版).part3.rar

3.13 MB, 下载次数: 415

 楼主| 发表于 2009-2-21 17:02:00 | 显示全部楼层
part4

Silicon Processing for the VLSI Era(1)(中文版).part4.rar

3.13 MB, 下载次数: 572

 楼主| 发表于 2009-2-21 17:05:08 | 显示全部楼层
part5

Silicon Processing for the VLSI Era(1)(中文版).part5.rar

2.3 MB, 下载次数: 554

发表于 2009-5-10 13:48:03 | 显示全部楼层
非常感谢楼主!找了好长时间了!
发表于 2009-8-9 09:50:53 | 显示全部楼层
haodongxi
发表于 2009-8-9 12:35:41 | 显示全部楼层
THANKS FOR YOUR SHARE!
发表于 2009-8-9 20:27:54 | 显示全部楼层
搂主太伟大了
感谢分享
致敬
发表于 2009-11-14 15:49:16 | 显示全部楼层
感谢
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