Silicon Processing for the VLSI Era（1）中文版

qinsi · 发表于 2009-2-21 16:51:48

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Silicon Processing for the VLSI Era（1），很好的资料！内容：
第一章: 硅单晶生长和硅片准备
第二章：晶格缺陷、热处理和吸杂
第三章: 真空技术的应用
第四章: 薄膜基础
第五章: 外延薄膜的生长
第六章: 化学汽相淀积
第七章: 单晶硅的热氧化
第八章: 扩散
第九章: 离子注入
第十章: 溅射
第十一章: 难熔金属及其硅化物
第十二章: 光刻胶与光刻工艺技术
第十三章: 光刻机和光掩膜版
第十四章:先进光刻工艺
第十五章:湿法工艺
第十六章:干法刻蚀
第十七章:材料表征技术
第十八章:工艺优化实验的结构化设计方法

qinsi · 发表于 2009-2-21 16:55:11

part2

qinsi · 发表于 2009-2-21 16:58:49

part3

qinsi · 发表于 2009-2-21 17:02:00

part4

qinsi · 发表于 2009-2-21 17:05:08

part5

luoluo2009 · 发表于 2009-5-10 13:48:03

非常感谢楼主！找了好长时间了！

herontyh · 发表于 2009-8-9 09:50:53

haodongxi

beardsh · 发表于 2009-8-9 12:35:41

THANKS FOR YOUR SHARE!

a4440330 · 发表于 2009-8-9 20:27:54

搂主太伟大了
感谢分享
致敬

dt529 · 发表于 2009-11-14 15:49:16

感谢

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Silicon Processing for the VLSI Era（1）中文版

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