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查看: 2276|回复: 4

关于gate oxide capcitor

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发表于 2009-1-20 08:33:49 | 显示全部楼层 |阅读模式

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最近在做高压的process,发现高压的gate oxide cap比低压的小,不知道什么原因,请哪位大侠指教!
发表于 2009-1-20 09:35:30 | 显示全部楼层
栅氧变厚了,c反比于介质厚度。
发表于 2009-1-20 16:52:13 | 显示全部楼层
呵呵,该回答言简意赅,强
发表于 2009-1-26 21:06:04 | 显示全部楼层
严重同意
发表于 2009-1-27 22:32:14 | 显示全部楼层
这个要和衬底的掺杂类型有关吧?
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