CMOS工艺中的Epi

suzon · 发表于 2008-11-9 23:11:13

您需要登录才可以下载或查看，没有账号？注册

x

最近做电感，用ASITIC，要修改参数，但是不知道参数中的Epi（在substrate上面的）是什么意思？有高手帮帮忙

tonywai · 发表于 2008-11-11 13:12:37

外延层的浓度？？猜的

gao-995 · 发表于 2008-11-12 23:11:17

帮顶了！！！！！！！！！！

Jeekoky · 发表于 2008-11-13 04:47:59

Epi-taxy layer的简称。是在原来的单晶substrate的基础上生长的一层薄的单晶硅层。在bipolar和Bicoms中用来提高bipolar transistor的性能，在CMOS中用来防止latch-up

elantra · 发表于 2008-11-13 16:06:52

外延层。
工艺书上都有说

tianruo · 发表于 2009-9-4 15:56:20

可以忽略吧，CMOS的层次定义可以缺少这一层的。

suzon · 发表于 2009-12-2 21:10:27

做螺旋电感时候，好像要用到的。

大胜天尊 · 发表于 2012-10-16 17:58:29

是的!!!

站长推荐 /2