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发表于 2008-10-28 21:44:48
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本课程中使用CSMC双硅三铝混合信号工艺,主要的设计层包括
本课程中使用CSMC双硅三铝混合信号工艺,主要的设计层包括
􀁺 TB:tub,n阱,作为pmos器件衬底
􀁺 TO:Thin Oxide,有源区,作为mos的源漏区
􀁺 GT:gate,多晶硅1,作为mos栅极
􀁺 SP:P+注入区
􀁺 SN:N+注入区
􀁺 W1:接触孔,金属1到多晶硅和有源区的接触孔
􀁺 A1:铝1,第一层金属
􀁺 W2:通孔1,金属1和金属2的接触孔
􀁺 A2:铝2,第二层金属
􀁺 W3:通孔2,金属2和金属3的接触孔
􀁺 CP:bond pad,pad开孔
􀁺 IM:第二层多晶硅电阻阻挡层
􀁺 PC:poly Cap,用作多晶硅电容上极板和多晶硅电阻的第二层多晶硅
􀁺 PT:p tub,p阱,作为nmos器件衬底
􀁺详细的工艺信息请参考设计规则(在CSMC05MS/docs目录下) |
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