什么是两层mask？

雷LING · 发表于 2020-6-17 17:10:48

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一层金属有两层mask是什么意思？和一般的金属有什么不同吗？

tuohong · 发表于 2020-6-17 17:14:58

楼主问的是不是double pattern的情况？特征尺寸非常小的高级工艺通过这个来解决光刻衍射的。

dpiyssr · 发表于 2020-6-17 17:16:40

应该是小工艺离的太近的同层金属会分两步做该层的mask，避免在制造的时候出现短路。

雷LING · 发表于 2020-6-17 17:32:22

dpiyssr 发表于 2020-6-17 17:16
应该是小工艺离的太近的同层金属会分两步做该层的mask，避免在制造的时候出现短路。 ...

哦哦，原来是这个意思。

wmd201409 · 发表于 2020-6-18 10:34:26

个人感觉就是光的波长比线宽大，达不到可蚀的精度

雷LING · 发表于 2020-6-18 10:40:06

dpiyssr 发表于 2020-6-17 17:16
应该是小工艺离的太近的同层金属会分两步做该层的mask，避免在制造的时候出现短路。 ...

那对画版图没有什么影响吧。

firewolf223 · 发表于 2020-6-18 11:17:10

看你是哪种double pattern工艺，如果是LELE 工艺对layout 没啥影响，fab 会自动拆分到不同的mask，只是layout rule 比较复杂。如果是SADP/SAQP，这种double pattern，就需要designer 自己拆分double pattern，virtuoso advance 版本才支持自动的coloring，这个就比较麻烦

GIDL · 发表于 2024-4-1 10:11:30

7# 讲反了吧， LELE 版图需要都画出来，SADP/SAQP 对layout 没啥影响，因为final pattern 是工艺决定的

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