请问TM、TM1、TM2和UTM这几种top metal的区别？

wspyl

请问TM、TM1、TM2和UTM这几种top metal有什么不一样啊？为什么有的只用一层顶金、有的要用两层顶金？
还有是不是一般只有在RF工艺中画电感时才会用到utm？

求指导啊...

imefox

   

wspyl 发表于 2013-7-31 21:54
谢谢了。
是不是两层厚金的工艺例如smic13_1p8m_2tm这种，它的最顶层TM2一定就是UTM呢？也就是说TM2和UTM ...

看一下spice model对应的文档，比如TM-MM13-RM-2004V12R.pdf

smic13_1p8m_2tm看上去是带了两层顶层金属TM1（9KA）和TM2（30KA）。TM2和ALPA(12.5KA）可以用来画电感。
smic 0.13um的baseband model只有TM（9KA），而RF model则有两种顶层金属TM1和TM2可选，并且TM1和TM2可以同时存在。
在0.18um工艺中，顶层金属只能选一种（TM1是9KA，TM2是22KA，MTT1是34KA，MTT2是40KA）

huaijiu

按照工艺来的，比如SMIC的，TM1的厚度是9.9K,TM2的是34.1K等，top metal的厚度会有区别，根据你项目所需选择Top metal

mekenny

同样想了解，请大牛指导。

vsombie

2TM应该就是UTM的意思吧。
只是不知道TTM和UTM有什么不一样，哪位大牛能解释一下不。

wspyl

   

数字电路，通常一层稍微厚一点的顶层金属就够了。比如一层8K的TM
模拟电路尤其是RF电路，多数时候需要一层 ...
buckaroo 发表于 2013-7-25 22:50

                               
登录/注册后可看大图

谢谢了。
是不是两层厚金的工艺例如smic13_1p8m_2tm这种，它的最顶层TM2一定就是UTM呢？也就是说TM2和UTM是不是就是一个意思啊？

buckaroo

数字电路，通常一层稍微厚一点的顶层金属就够了。比如一层8K的TM
模拟电路尤其是RF电路，多数时候需要一层加厚的来做电感之类的无源器件，比如34K的TM2（也叫UTM），有时也会选择再TM2下面再加一层次厚的，TM1，比如8K左右。可以用来做power gnd之类的routing。

sli103105

pay attention to the type of material (al or cu), thickness and sheet resistance.

nicolasr

问题还是没有解决.

ygchen2

回复 3# wspyl
自己找找，应该有一个表列了所有可能的mask以及不同器件用到那些mask。不同工艺文件可能不完全一样，问一下工艺厂，他们会给你详细解答。