请问TM、TM1、TM2和UTM这几种top metal的区别？

wspyl · 发表于 2013-7-16 15:29:02

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本帖最后由 wspyl 于 2013-7-16 16:20 编辑

请问TM、TM1、TM2和UTM这几种top metal有什么不一样啊？为什么有的只用一层顶金、有的要用两层顶金？
还有是不是一般只有在RF工艺中画电感时才会用到utm？

求指导啊...

ygchen2 · 发表于 2013-7-17 04:02:34

请问TM、TM1、TM2和UTM这几种top metal有什么不一样啊？为什么有的只用一层顶金、有的要用两层顶金？
还有 ...
wspyl 发表于 2013-7-16 15:29

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工艺手册应该有的。

wspyl · 发表于 2013-7-17 14:53:28

工艺手册应该有的。
ygchen2 发表于 2013-7-17 04:02

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能具体说说哪个手册吗？

ygchen2 · 发表于 2013-7-17 21:37:19

回复 3# wspyl
自己找找，应该有一个表列了所有可能的mask以及不同器件用到那些mask。不同工艺文件可能不完全一样，问一下工艺厂，他们会给你详细解答。

nicolasr · 发表于 2013-7-25 14:39:57

问题还是没有解决.

sli103105 · 发表于 2013-7-25 14:57:37

pay attention to the type of material (al or cu), thickness and sheet resistance.

buckaroo · 发表于 2013-7-25 22:50:35

数字电路，通常一层稍微厚一点的顶层金属就够了。比如一层8K的TM
模拟电路尤其是RF电路，多数时候需要一层加厚的来做电感之类的无源器件，比如34K的TM2（也叫UTM），有时也会选择再TM2下面再加一层次厚的，TM1，比如8K左右。可以用来做power gnd之类的routing。

wspyl · 发表于 2013-7-31 21:54:53

数字电路，通常一层稍微厚一点的顶层金属就够了。比如一层8K的TM
模拟电路尤其是RF电路，多数时候需要一层 ...
buckaroo 发表于 2013-7-25 22:50

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谢谢了。
是不是两层厚金的工艺例如smic13_1p8m_2tm这种，它的最顶层TM2一定就是UTM呢？也就是说TM2和UTM是不是就是一个意思啊？

vsombie · 发表于 2013-8-2 17:29:18

2TM应该就是UTM的意思吧。
只是不知道TTM和UTM有什么不一样，哪位大牛能解释一下不。

mekenny · 发表于 2013-8-3 13:27:15

同样想了解，请大牛指导。

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