半导体先进工艺用metal gate的问题

xhwubai · 发表于 2012-4-24 05:16:03

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用metal gate是防止原先poly gate的depletion效应，那metal 就没有"metal depletion"效应了？为什么？

s_uni · 发表于 2024-4-10 13:24:34

xhwubai 发表于 2012-5-4 01:53
回复 4# wolffshen

都不是半导体，怎么耗尽？

xinmeng6393 · 发表于 2013-12-2 10:35:11

好东西，赞一个

mxlvljr · 发表于 2013-11-26 20:30:02

和功函数相关的一些东西。。。俺还要学习这方面的东西啊

vdfepi · 发表于 2013-10-7 22:34:34

THANKS A LOT

wuxia9059 · 发表于 2012-12-12 14:18:51

mos的gate为什么一开始用metal，后来用poly，再后来又用metal了？

polysilicon gate 的一个好处是可以耐高温处理

sishaoye · 发表于 2012-12-9 16:39:46

10楼讲的我感觉也有道理

sicool · 发表于 2012-9-2 16:59:30

metal gate 只在28才开始出现的，metalgate的leakage更小

genorry · 发表于 2012-7-23 01:17:57

4楼讲的很详细，谢谢。。。想下点东西要发好多帖子啊。

wjb158 · 发表于 2012-7-5 21:03:53

烦啊！！写了很多不见了。

可能跟自对准工艺有关，还有淀积的温度与栅极材料的温度有关。

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