求DRAM process flow 一份用于培训和学习

CMP亚当 · 发表于 2024-8-11 13:52:47

目前网上有很多logic的制造工艺flow，但是DRAM的工艺flow 比较少，不知道是什么原因，求一份工艺flow 用于学习。

类似于《3D IC device Technologies and Manufacturing》中的结构，每一层是如何实现的？

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cd1992 · 发表于 2024-8-13 19:10:27

Peter_Gym · 发表于 2024-8-15 19:59:48

cd1992 发表于 2024-8-13 19:10
http://www.360doc.com/content/20/0302/17/68538116_896206368.shtml#google_vignette

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[求助] 求DRAM process flow 一份用于培训和学习