有没有大佬知道smic28里面的P4这一层怎么理解

SV5 · 发表于 2024-2-29 13:48:48

C7cgff · 发表于 2024-2-29 13:48:49

本帖最后由 C7cgff 于 2024-2-29 17:23 编辑

与HKMG有关，HKMG概括就是用金属栅极代替硅栅提高介电常数，P4作为运算层参与刻蚀PMOS硅栅，P4对画图没什么影响，gate frist工艺需要硅栅实现自动准，所以先生产后刻蚀。

fengrlove · 发表于 2024-2-29 14:01:06

和tsmc28的PM一样吧。。HKMG

feimou · 发表于 2024-2-29 14:04:48

本帖最后由 feimou 于 2024-2-29 14:09 编辑

HKMG PMOS WorkingFunction poly remove
HKMG 的dummy poly remove。我从字母意思理解的，不知道对不对

SV5 · 发表于 2024-2-29 16:49:49

感谢各位大佬

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