SMIC 薄膜电阻CrSi

不吃细糠的山猪 · 发表于 2023-7-7 15:12:34

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SMIC 薄膜电阻CrSi 和 POLY/DIFF等正常电阻有什么区别？为啥要多加层mask做薄膜电阻呢？

PN_Allen · 发表于 2023-7-7 15:46:32

有用这种材料的吗？没见过。。。

firerunning · 发表于 2023-7-7 16:04:22

铬硅电阻，用于制作低温度系数电阻，对温飘要求很高的情况下使用，一般人用不上，徒增成本。

不吃细糠的山猪 · 发表于 2023-7-7 16:35:27

firerunning 发表于 2023-7-7 16:04
铬硅电阻，用于制作低温度系数电阻，对温飘要求很高的情况下使用，一般人用不上，徒增成本。 ...

感谢大佬，在你的基础上我搜了一下。

铬硅薄膜电阻是以铬和硅为主成分的薄膜高阻材料。具有电阻率高、稳定性好、电阻温度系数小等特点。控制硅化物结构，可得到各种电性能材料。如随铬增加，电阻率下降，电阻温度系数可从负数逐渐变到正值，一般方阻3～5kΩ，电阻温度系数(100～150)×10-6/℃。采用溅射、电子束蒸发、真空蒸镀等方法制取，主要用于制作薄膜混合集成电路中的薄膜电阻器

PN_Allen · 发表于 2023-7-9 23:30:47

学习了，谢谢

purple_dream · 发表于 2024-8-4 15:21:12

SMIC哪个工艺下有这种电阻？

yesmyboy1 · 发表于 2024-8-6 09:45:13

學習了!

peterluck · 发表于 2024-10-17 17:12:20

purple_dream 发表于 2024-8-4 15:21
SMIC哪个工艺下有这种电阻？

BCDE&BCDA,BCDM也可以做了。

[求助] SMIC 薄膜电阻CrSi

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