efuse,poly fuse, laser fuse

不吃细糠的山猪 · 发表于 2023-5-9 17:58:58

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efuse,poly fuse, laser fuse工艺分别是怎么实现的，以及有啥区别啊。有没有大佬解释一下

ttt913 · 发表于 2023-5-9 18:08:57

laser fuse 是metal 连接，芯片测试时用激光切断
efuse 是靠电流熔断连接，以前是有poly实现的，现在可能有新材料了。
poly fuse: efuse 会用poly当fuse, 还有一种cut fuse, 用于在wafer测试时的连接，放在划片槽里，划片后就会断开。

PN_Allen · 发表于 2023-6-6 18:35:47

ttt913 发表于 2023-5-9 18:08
laser fuse 是metal 连接，芯片测试时用激光切断
efuse 是靠电流熔断连接，以前是有poly实现的，现在可能有 ...

正解~
efuse现在用金属，因为HKMG工艺引入之后，没有poly了

piao · 发表于 2023-7-18 00:45:49

thanks for sharing

hankex · 发表于 2023-7-18 08:49:26

請問大神有沒有資料分享

hijackerhaha · 发表于 2023-12-8 18:04:58

ttt913 发表于 2023-5-9 18:08
laser fuse 是metal 连接，芯片测试时用激光切断
efuse 是靠电流熔断连接，以前是有poly实现的，现在可能有 ...

请问这种cut fuse怎么用，是用fuse在scribeline里面引入pad，然后wafer测试完就把fuse划断，相当于CP PAD放在外面了。

但是这样会不会引入seal ring中间断开了的问题，这样sealring的密封效果就没那么好了？

manjusaka · 发表于 2024-1-16 10:19:20

thanks for sharing

莽昆仑 · 发表于 2024-1-19 11:06:21

ttt913 发表于 2023-5-9 18:08
laser fuse 是metal 连接，芯片测试时用激光切断
efuse 是靠电流熔断连接，以前是有poly实现的，现在可能有 ...

有详细的图文介绍资料吗，还是有点蒙圈啊

[求助] efuse,poly fuse, laser fuse