有没有可以加热到2000度，有真空条件，能通Ar气体，放置6寸晶圆的炉子？

bacai00789 · 发表于 2022-10-28 14:27:00

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求资源推荐，有没有可以加热到2000度，有真空条件，能通Ar气体，放置6寸晶圆的炉子？

axel · 发表于 2022-11-15 21:12:32

很多三手机器，修修就能用。最早在ibm Bollingen厂用的。

bacai00789 · 发表于 2022-12-1 09:24:40

axel 发表于 2022-11-15 21:12
很多三手机器，修修就能用。最早在ibm Bollingen厂用的。

请教有没相关的设备资源或者型号？这方面我接触的不多

axel · 发表于 2023-1-5 22:51:01

你可以请你的老板直接联系我们，我们是公司，直接谈生意

[求助] 有没有可以加热到2000度，有真空条件，能通Ar气体，放置6寸晶圆的炉子？